山东大学先进材料测试与制造平台的电镜制样系统，自2021年8月安装调试后，各项性能良好。即日起开始正式运行，欢迎广大师生前来咨询和送样测试。
一、 仪器简介
电镜制样系统包括三大模块，前处理模块、主模块、后处理模块。主要模块包括：2台离子减薄仪（高配与低配）和1台离子平面抛光仪；前处理模块包含凹坑仪、超声切割仪、高/低速切割机、电解双喷、振动抛光等；后处理模块包括等离子清洗机等；基本囊括了金属和陶瓷等样品上机前（透射电镜、扫描电镜）样品制备工艺路径的各个节点。
主模块主要技术指标：
（1）离子束能量范围：50eV~10keV；
（2）离子束斑尺寸：≤1μm；
（3）离子枪倾转角度：-10°~10°，连续可调；
（4）最大离子束流密度：10 mA/cm2；
（5）液氮冷台温控范围：-170℃~室温，连续可调；
（6）液氮冷台保冷时间：6~18小时；
（7）样品台转角范围：0~360°。
二、 生产厂商
FISCHIONE（美国）公司
三、 仪器图片
四、样品要求
离子减薄送样基本原则 |
1.样品表面越平整减薄效果越佳，建议使用粒度1000以上砂纸磨抛； 2.离子减薄前样品厚度原则上应低于100微米，特殊情况可微信、QQ咨询； 3.离子减薄载样台仅容纳直径3±0.1mm的透射圆片试样。 |
离子平面抛光送样基本原则 |
1.由于有机质挥发严重污染激光定位器，故包埋样品务必提前咨询； 2.平面样品最大尺寸（直径32mm-高25mm）； 3.截面样品最大尺寸（长10mm-宽10mm-厚4mm），特殊情况请提前咨询。 |
五、 收费标准
序号 |
测试项目 |
收费标准 |
备注 |
1 |
铁/磁材料离子减薄 |
1600元/样品 |
1、自行操作， 费用减半； 2、视情况加收前、后处理费用（7、8、9项）； 3、使用液氮冷阱低温减薄费用加倍 |
2 |
陶瓷材料离子减薄 |
1600元/样品 |
3 |
一般材料离子减薄 |
1200元/样品 |
4 |
特殊材料离子减薄 |
600元/小时 |
5 |
离子平抛 |
600元/小时 |
6 |
离子平抛 （铁/磁材料） |
1000元/小时 |
7 |
透射样品凹坑 |
600元/样品 |
凹坑至中心部位厚度为20~30μm |
8 |
等离子清洗 |
100元/10min |
10min以内按10min计算 |
9 |
切割取样 |
100元/道 |
行程15cm以内 |
* 离子减薄载样台为贵重耗材（2000美金/个），实验损耗成本已包含在测试费用中，铁磁材料极易污染设备增加设备维护成本，陶瓷材料由于凹坑效果有限故增加离子轰击时间成本，液氮冷阱使用后减薄时间将增至常温的2至3倍，据此制定收费标准。电解双喷针对不同材料所涉及电解液成分存在差异，设备正式运行一段时间后再行制定运行标准与费用标准。
六、 仪器地点及预约方法
创新大厦一楼102-2室
联系人：王瑫 18396892205（微信同号） wxm689wxm@sdu.edu.cn
使用QQ群或者电话进行咨询与预约，送样后请在系统提交送样申请，并注明：（1）样品种类；（2）测试项目；（3）预约人联系方式。
* 由于各种透射样品耐离子辐照、机械强度、腐蚀性能等存在较大差异，送样前务必联系实验老师确定最终研磨厚度和样品尺寸。
