先进材料测试与制造平台的场发射电子探针（EPMA）自试运行以来，效果良好，即日起开始试运行，欢迎广大师生前来咨询和送样测试。
一、设备信息
*生产厂家：JEOL（日本电子公司）
*仪器型号：JXA-8530F Plus
二、设备图片
三、主要技术指标
（1）分析元素范围：Be4～U92；
（2）最大探针电流：2μA；
（3）加速电压：0.5～30KV；
（4）微区点成分分析范围：0.1～300μm；
（5）二次电子像分辨率：3nm；
（6）配备牛津X-MAX20能谱仪，分辨率优于127ev。
四、主要测试功能
（1）Be4～U92化学元素的微区成分定性、定量分析；
分析方法：*定量点分析；*定性点分析、线分析、面分析；
（2）各种金属、非金属化合物、矿物质的定性、定量分析；
（3）材料表面形貌分析：二次电子像与背散射电子像。
五、样品要求
序号 |
项目 |
要求 |
备注 |
1 |
样品状态 |
固体，且在电子束照射下和真空下稳定 |
尽量避免磁性材料 |
2 |
样品导电性 |
样品导电（导电性差的需要喷镀碳膜） |
3 |
样品尺寸 |
最大直径≤30mm，最大厚度≤15mm |
4 |
样品平整性 |
样品上底面和下底面必须平整，待测面需要抛光 |
六、设备运行收费管理办法
序号 |
项目 |
收费（元/小时） |
备注 |
校内 |
校外 |
1 |
材料形貌表征/EDS定性分析 |
300 |
600 |
单独使用形貌观察和EDS功能可执行此收费标准 |
2 |
金属材料/矿物材料WDS定性和定量分析 |
400 |
800 |
使用波谱仪（WDS）时执行此收费标准 |
3 |
蒸镀碳膜 |
300/次 |
600/次 |
可一次性蒸镀多个样品 |
七、安装地点： 创新大厦1楼109房间
联系人：刘树帅， 15865265020， shushuailiu@sdu.edu.cn
八、预约办法：
由于网上预约系统正在搭建中，临时使用QQ群进行预约，送样时请注明：（1）样品种类，（2）分析项目及分析要求；（3）预约人联系方式。
QQ群号：949855560.
